產(chǎn)品描述

Keysight是德科技B1500A半導(dǎo)體器件分析儀是精密電流-電壓分析儀系列的一款一體化分析儀，支持 IV、CV、脈沖/動(dòng)態(tài) IV 等功能，專為從基礎(chǔ)到應(yīng)用的表征而設(shè)計(jì)。它提供廣泛的測(cè)量功能，涵蓋器件、材料、半導(dǎo)體、有源/無(wú)源元件或幾乎任何其他類型的電子設(shè)備的電氣特性和評(píng)估，具有測(cè)量可靠性和效率。此外，B1500A 的模塊化架構(gòu)具有 10 個(gè)可用插槽，如果您的測(cè)量需求隨時(shí)間變化，您可以添加或升級(jí)測(cè)量模塊。

Keysight EasyEXPERT group+ 基于 GUI 的表征軟件可在 B1500A 的嵌入式 Windows 10 平臺(tái)（配備 15 英寸觸摸屏）上使用，也可以在 PC 上使用，以加快表征任務(wù)的執(zhí)行速度。它支持從測(cè)量設(shè)置和執(zhí)行到分析和數(shù)據(jù)管理的整個(gè)表征過(guò)程中高效且可重復(fù)的器件表征，無(wú)論是交互式手動(dòng)操作還是與半自動(dòng)晶圓探針儀一起實(shí)現(xiàn)
整個(gè)晶圓的自動(dòng)化。EasyEXPERT group+ 提供數(shù)百種即用型測(cè)量（應(yīng)用測(cè)試），讓您能夠輕松地立即執(zhí)行復(fù)雜的器件表征，并允許您選擇在每次測(cè)量后自動(dòng)將測(cè)試條件和測(cè)量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在內(nèi)置數(shù)據(jù)庫(kù)（工作區(qū)）中，確保有價(jià)值的信息不會(huì)丟失，并且可以在以后重復(fù)測(cè)量。Keysight是德科技B1500A半導(dǎo)體器件分析儀 具有這些多功能功能，為器件表征提供了完整的解決方案。

基本功能（測(cè)量能力）：

電流與電壓 （IV） 測(cè)量

• 0.1 fA - 1 A 和 0.5 μV - 200 V 的準(zhǔn)確和精密測(cè)量范圍

• 點(diǎn)和掃描測(cè)量

• 時(shí)間采樣測(cè)量（最小采樣率 100 μs）

• 使用 MCSMU 進(jìn)行脈沖測(cè)量，最小脈沖寬度為 50 μs，使用 HPSMU、MPSMU 或 HRSMU 的最小脈沖寬度為 500 μs

• ASU（atto-sense 和 switch unit）可與 MPSMU 或 HRSMU 一起使用，以提供 0.1 fA 測(cè)量分辨率和 SMU/AUX 路徑切換

• 每種 SMU 類型（HPSMU、MPSMU 和 HRSMU）提供兩種模數(shù)轉(zhuǎn)換器選擇（高分辨率 ADC 或高速 ADC）

電容測(cè)量

• 多頻交流阻抗測(cè)量支持 CV（電容與電壓）、C-t（電容與時(shí)間）和 C-f（電容與頻率）測(cè)量

• 電容測(cè)量頻率范圍為 1 kHz 至 5 MHz

• 帶漏電流補(bǔ)償?shù)臏?zhǔn)靜態(tài)電容電壓 （QS-CV） 測(cè)量

• 使用可選的 SCUU（SMU CMU 統(tǒng)一單元）和 GSWU（保護(hù)開(kāi)關(guān)單元）或一對(duì) ASU 在 IV 和 CV 測(cè)量之間自動(dòng)切換

脈沖 IV/快速 IV/瞬時(shí) IV 測(cè)量

• 為超快速 IV（電流-電壓）、脈沖 IV 和瞬態(tài) IV 測(cè)量提供高速和高靈敏度測(cè)量能力，包括 NBTI/PBTI 和 RTN（隨機(jī)電報(bào)信號(hào)噪聲）測(cè)量

• 具有 10 ns 可編程分辨率的任意波形生成

• 同步高速電壓/電流測(cè)量（200 MSa/s，5 ns 采樣率）SMU 技術(shù)支持脈沖 IV 測(cè)量，無(wú)負(fù)載線效應(yīng)

脈沖生成

• 高達(dá) ±40 V 的電壓脈沖和任意波形生成，用于非易失性存儲(chǔ)器評(píng)估

• 單通道 2 級(jí)和 3 級(jí)脈沖能力

B1500A 平臺(tái)

• 15 英寸觸摸屏支持直觀 GUI 的所有功能，便于設(shè)備表征

• 可配置和可升級(jí)的測(cè)量模塊，每個(gè)主機(jī)有 10 個(gè)插槽

• GPIB、USB、LAN 接口和 VGA 視頻輸出端口

EasyEXPERT group+ 軟件

• 特性分析環(huán)境可在主機(jī)（嵌入式 Windows 10）或用戶的 PC 上使用

• 基于圖形用戶界面的直觀操作，包括鍵盤、鼠標(biāo)操作和觸摸屏

• 應(yīng)用測(cè)試模式提供數(shù)百種即用型應(yīng)用測(cè)試，以便快速執(zhí)行測(cè)量

• 經(jīng)典測(cè)試模式可輕松訪問(wèn)儀器的全部功能

• 圖形顯示和分析功能有助于進(jìn)行前端數(shù)據(jù)分析，無(wú)需額外的實(shí)用程序，并支持將報(bào)告生成為圖像數(shù)據(jù)或 Excel 數(shù)據(jù)

• 個(gè)性化內(nèi)置數(shù)據(jù)庫(kù)（工作區(qū)）自動(dòng)記錄測(cè)試數(shù)據(jù)，簡(jiǎn)化數(shù)據(jù)管理，不會(huì)煩惱大量數(shù)據(jù)文件

• 示蹤測(cè)試模式支持曲線示蹤器（如旋鈕）控制測(cè)量參數(shù)，以支持交互式實(shí)時(shí)設(shè)備表征和自動(dòng)數(shù)據(jù)記錄功能

• 示波器視圖（適用于 MCSMU）支持脈沖電壓和電流波形查看，以便快速輕松地進(jìn)行定時(shí)驗(yàn)證

• 快速測(cè)試模式支持無(wú)需編程即可進(jìn)行測(cè)試排序

• Keysight B2200A、B2201A 和 E5250A 開(kāi)關(guān)矩陣的基于 GUI 的控制基于 GUI 的自檢、自校準(zhǔn)和診斷菜單，用于硬件維護(hù)

• EasyEXPERT 遠(yuǎn)程控制功能支持通過(guò) LAN 接口以交互方式在 GUI 上創(chuàng)建的應(yīng)用程序測(cè)試的遠(yuǎn)程測(cè)量執(zhí)行

• 數(shù)據(jù)備份功能和各種數(shù)據(jù)保護(hù)功能，供多個(gè)用戶共享使用

• EasyEXPERT group+ 可以根據(jù)需要安裝在任意數(shù)量的 PC 上，無(wú)需額外付費(fèi)，即可在您所在部門的用戶中利用離線個(gè)人分析儀環(huán)境。